聯(lián)系電話:0511-86733353
聯(lián)系手機:0511-86733353
聯(lián)系郵箱:liuwei@coating-service.cn
聯(lián)系地址:中國,江蘇,丹陽市立曜路1號
ITO導電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上,利用濺射、蒸發(fā)等多種方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ITO)膜加工制作成的。液晶顯示器專用ITO導電玻璃,還會在鍍ITO層之前,鍍上一層二氧化硅阻擋層,以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內(nèi)液晶里擴散。高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理,以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃,所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此,最終的液晶顯示器都會沿浮法方向,規(guī)律的出現(xiàn)波紋不平整情況。
在濺鍍ITO層時,不同的靶材與玻璃間,在不同的溫度和運動方式下,所得到的ITO層會有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些,更容易出現(xiàn)“麻點”現(xiàn)象;有些廠家的玻璃ITO層會出現(xiàn)高蝕間隔帶,ITO層在蝕刻時,更容易出現(xiàn)直線放射型的缺劃或電阻偏高帶;另一些廠家的玻璃ITO層則會出現(xiàn)微晶溝縫。
ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下,氧化銦透過率高,氧化錫導電能力強,液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。由于ITO具有很強的吸水性,所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學反應而變質(zhì),俗稱“霉變”,因此在存放時要防潮。
ITO層在活性正價離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應,形成其它導電和透過率不佳的反應物質(zhì),所以在加工過程中,盡量避免長時間放在活性正價離子溶液中。ITO層由很多細小的晶粒組成,晶粒在加溫過程中會裂變變小,從而增加更多晶界,電子突破晶界時會損耗一定的能量,所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高,電阻也增大。
ITO導電玻璃按電阻分,分為高電阻玻璃(電阻在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻在60~150歐姆)、低電阻玻璃(電阻小于60歐姆)。高電阻玻璃一般用于靜電防護、觸控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。
ITO導電玻璃按尺寸分,有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規(guī)格;按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產(chǎn)品。
ITO導電玻璃按平整度分,分為拋光玻璃和普通玻璃。
長度、寬度、厚度及允差(±0.20)
垂直度(≤0.10%)
翹曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%,厚度0.55mm以下≤0.15%)
微觀波紋度
倒邊C倒邊(0.05mm≤寬度≤0.40mm)R倒邊(0.20mm≤寬度≤1.00mm,曲率半徑≤50mm)倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm)SIO2阻擋層厚度(350?!?0埃,550nm透過率≥90%)ITO層光學、電學、蝕刻性能(蝕刻液:600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3)
耐堿為浸入60℃、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。耐溶劑為在250C、丙酮、無水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。附著力:在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下,膜層無損傷;或連撕三次后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。熱穩(wěn)定性:在300°C的空氣中,加熱30分鐘后,ITO導電膜方塊電阻值應不大于原方塊電阻的300%。
裂紋:不允許。粘附物:包括塵粒、玻璃碎等凸起物,TN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.1mm的粘附物;STN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.05mm的粘附物。沾污:不可有不溶于水或一般清洗劑無法除去的沾污。崩邊:長X寬≤2.0mmx1.0mm;深度不超過玻璃基片厚度的50%;總長度≤總邊長的5%。劃痕。
玻璃體點狀缺陷:包括氣泡、夾雜物、表面凹坑、異色點等。點狀缺陷的直徑定義為:d=(缺陷長+缺陷寬)/2。
玻璃體線狀缺陷(寬度W):包括玻筋、光學變形。
膜層點狀缺陷:SIO2阻擋層和ITO導電層的點狀缺陷包括針孔、空洞、顆粒等,點狀缺陷的直徑定義為:d=(缺陷長+缺陷寬)/2。
尺寸:
A、測試方法:用直尺和游標卡尺測量待測玻璃原片的長度、寬度、厚度。
B、判定標準:測量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。
面電阻:
A、測試方法:把待測試玻璃整個區(qū)域做為測試區(qū)域,然后測試區(qū)域分成九等份后再用四探針測試儀分別測試各區(qū)域的面電阻。
B、判定標準:根據(jù)測試結(jié)果計算出電阻平均值及電阻資料分散值,結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。
ITO層溫度性能
A、測試方法:把待測玻璃原片在3000C的空氣中,加熱30分鐘,測試其加溫前后的同一點面電阻阻值。B、判定標準:ITO導電膜方塊電阻值應不大于原方塊電阻的300%為合格。
蝕刻性能:
A、測試方法:把待測玻璃原片放入生產(chǎn)線所用的蝕刻液中測試其蝕刻完全的時間。
B、判定標準:蝕刻完全的時間值小于生產(chǎn)工藝所設定時間的一半值為合格。
A、測試方法:把待測玻璃原片放在600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后,測試其浸泡前后的同一點面電阻阻值。
B、判定標準:ITO層方塊電阻變化值不超過10%為合格。
光電性能與可靠性:
A、測試方法:把待測玻璃與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃按現(xiàn)生產(chǎn)工藝參數(shù),選擇一型號制作成成品并測試其光電與可靠性性能;
B、判定標準:光電性能與可靠性測試結(jié)果與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃結(jié)果相當,并在測試產(chǎn)品型號要求范圍之內(nèi)。
C、一般來講,ITO玻璃耐堿性能良好。
模數(shù)在240以上的產(chǎn)品,一般可選用供貨商B級品玻璃;
模數(shù)在40模以上,240模以下的產(chǎn)品,一般選用普通A級品玻璃;
模數(shù)在40模以下的產(chǎn)品,STN產(chǎn)品,一般選用低電阻拋光玻璃。
COG產(chǎn)品,一般選用15歐姆拋光玻璃。
任何時候都不容許疊放;
除規(guī)定外,一般要求豎向放置;平放操作時,盡量保持ITO面朝下;厚度在0.55mm以下的玻璃只能豎向放置;
取放時只能接觸四邊,不能接觸導電玻璃ITO表面;
輕拿輕放,不能與其它治具和機器碰撞;
如果要長時間存放,一定要注意防潮,以免影響玻璃的電阻和透過率;
對于大面積和長條形玻璃,在設計排版時要考慮玻璃基片的浮法方向。
ITO導電玻璃的貯存方法:
ITO導電玻璃應貯存在室溫條件下,濕度在65%以下干燥保存;貯放時玻璃保持豎向放置,玻璃間堆放不可超過二層,木箱裝ITO導電玻璃貨物堆放不可超過五層。紙箱裝貨ITO導電玻璃貨物,原則上不能堆放。
ITO導電玻璃搬運方法:
易碎品,小心輕放,保持搬運過程中的穩(wěn)定性,搬運時層高不得超過三層。
(1)電化學擴散工藝:在玻璃上用電化學擴散方法可獲得摻雜超導薄膜。玻璃在電化學處理裝置中與熔融金屬或化合物接觸,在一定的電場作用下,熔融金屬或化合物中的離子會擴散到玻璃表面,玻璃中的一價堿金屬離子離解處來,等量地擴散至陰極表面,使玻璃表面的化學組成發(fā)生變化。性能隨之改變。
(2)高溫噴涂和等離子體噴涂工藝:這種技術是將粉末狀金屬或非金屬、無機材料加熱至熔化或未熔化狀態(tài),并進一步加溫使其霧化,形成高溫高速焰流噴向需噴涂的玻璃基體。采用這種方式可以先在基體上制備YBaGUOx等涂層,在經(jīng)過熱處理可成為超導性材料。